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reactive ion beam etching中文是什么意思
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- 造句
- 反应离子束刻蚀
- reactive adj. 1.反动的，倒退的，复古的。 2.反应的；反作 ...
- ion n. 【物理学】离子。 positive [negati ...
- beam n. 1.梁，栋梁，桁条；(船的)横梁。 2.船幅；(动 ...
- etching n. 1.蚀刻法；蚀刻(铜)版画；蚀镂术。 2.蚀刻画， ...
- etching reactive ion 反应离子蚀刻法
- etching, reactive ion (rie) 反应离子蚀刻法
- reactive ion etching 无功离子蚀刻
- reactive ion etching rie 反应离子刻蚀
- triode reactive ion etching system 三极型反应性离子蚀刻系统
- ion beam etching 离子束腐蚀
- ion beam etching system 离子束蚀刻系统
- reactive ion beam 活性离子束
- reactive ion beam etch 活性离子束腐蚀
- reactive ion beam oxidation 活性离子束氧化
- hexode type reactive ion etching system 六角柱型反应性离子蚀刻系统
- reactive etching 反应侵蚀; 反应性腐蚀
- ion etching 离子刻蚀; 离子蚀刻法
- reactive sputter etching 反应溅射刻蚀
- reactive sputter etching system 反应性溅镀蚀刻系统
- high frequency ion etching 高频离子腐蚀
- ion bombardment etching 离子轰击浸蚀
- ion enhanced etching 离子增强腐蚀
- ion etching chamber 离子蚀刻室
- ion etching equipment 离子刻蚀设备
- ion etching machine 离子蚀刻机
- Reactive ion beam etching system ribe system
反应性离子束蚀刻系统 - The feasibility that kaufman ion source is applied in reactive ion beam etching is discussed . etching characteristics of materials , including pr , cr , quartz , are investigated . the etch rate and mechanisms of such materials are measured and analyzed as a function of ion energy , ion beam density and ion incidence angle in pure ar and chf3 , respectively . the etch rate has shown a square root dependence on variation versus
深入研究了光刻胶、铬薄膜、石英等光学材料离子束刻蚀特性,分别以ar气和chf3为工作气体,研究光刻胶、铬薄膜、石英等的刻蚀速率随离子能量,束流密度和离子入射角度的变化关系,得到刻蚀速率与影响因素的拟合方程,为掩模的制作工艺路线提供了实验依据和理论指导。
- reactive ion beam etchingとは意味：reactive ion beam etching 反応性イオンビームエッチング[金属]〈98確H0211:ドライプロセス表面処理用語〉
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Last modified time:Sat, 16 Aug 2025 00:29:56 GMT
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